진공 호환 장치

진공 호환 장치 Quantum Design DAU-MMOTIVAD

Quantum Design · DAU-MMOTIVAD

진공 호환 장치

Vacuum Devices

진공 챔버 내부에서 샘플 이송, 광학 소자 위치 조정, 센서 스캐닝 등 정밀한 모션 컨트롤이 필요한 실험에 사용됩니다. 반도체 제조 공정, 표면 분석 장비(XPS, AES), 박막 증착 시스템, 재료 과학 연구 등 고진공 환경에서의 자동화 실험에 최적화되어 있습니다.

진공 호환 장치Vacuum DevicesDAU-MMOTIVADQuantum Design

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24개

X-LRQ075AL-SV2-KX14P

High vacuum 75 mm travel controller

7 Day EA
문의

X-LRQ150AL-SV2-KX14P

High vacuum 150 mm travel controller

7 Day EA
문의

X-LRQ300AL-SV2-KX14P

High vacuum 300 mm travel controller

7 Day EA
문의

X-LRQ450AL-SV2-KX14P

High vacuum 450 mm travel controller

7 Day EA
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상품 설명

Vacuum Devices는 진공 환경에서 정밀한 위치 제어가 필요한 실험 및 연구 장비를 위한 전동 리니어 스테이지입니다. High Vacuum Devices와 Low Vacuum Devices 두 가지 제품군으로 구성되어 있으며, 75mm부터 600mm까지 다양한 이송 거리를 제공합니다. 모든 모델은 통합 컨트롤러와 정밀 제어 기능을 내장하고 있어 진공 챔버 내부에서도 안정적인 모션 컨트롤이 가능합니다. X-LRQ 시리즈는 고진공 환경용 장거리 스테이지이며, X-LSM 시리즈는 소형 고정밀 응용 분야에 적합합니다. 반도체, 표면 분석, 재료 과학 등 진공 환경 실험 자동화에 필수적인 장비입니다.

핵심 규격

이송 범위
25mm ~ 600mm
제품군
High Vacuum / Low Vacuum
컨트롤러
Integrated controller

상세 규격표

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상세 규격 표

카탈로그넘버ModelDescription
DAU-MMOTIVAD-P001E1X-LRQ075AL-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized linear stage, 75 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P002E1X-LRQ150AL-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized linear stage, 150 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P003E1X-LRQ300AL-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized linear stage, 300 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P004E1X-LRQ450AL-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized linear stage, 450 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P005E1X-LRQ600AL-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized linear stage, 600 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P006E1X-LSM025A-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized Linear Stage, 25 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P007E1X-LSM050A-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized Linear Stage, 50 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P008E1X-LSM100A-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized Linear Stage, 100 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P009E1X-LSM150A-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized Linear Stage, 150 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P010E1X-LSM200A-SV2-KX14PHigh vacuum, motorized Linear Stage, 200 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P011E1T-NA08A25-SV2-KT03X06PHigh vacuum linear actuator, 25 mm travel, RS-232
DAU-MMOTIVAD-P012E1T-NA08A50-SV2-KT03X06PHigh vacuum linear actuator, 50 mm travel, RS-232

상세 규격 표

Specification
ValueValueValue
ModelX-LRQ-SV2 SeriesX-LSM-SV2 SeriesT-NA-SV2 Series
FeatureHigh vacuum motorized linear stages with built-in controllersHigh vacuum miniature motorized linear stages with built-in controllersHigh vacuum micro linear actuators with built-in controllers
Built-in ControllerYesYesYes
Repeatability< 2.5 µm<1 ~4 um< 1 µm
Communication InterfaceRS-232RS-232RS-232
Communication ProtocolZaber ASCII (Default), Zaber BinaryZaber ASCII (Default), Zaber BinaryZaber Binary
Maximum Centered Load1000 N100 N46 N
Maximum Cantilever Load3000 N-cm300 N-cm
Guide TypeRecirculating Ball Linear GuideNeedle roller bearing
Maximum Current Draw1200 mA350 mA350 mA
Power Supply24-48 VDC24-48 VDC12-16 VDC
Power PlugNone, use X-PIBNone, use X-PIBNone, use T-DSUB9-P
Motor Steps Per Rev200200200
Data Cable ConnectionTeflon flying leads with M8 4 pin M/FTeflon flying leads with M8 4 pin M/FTeflon flying leads with Minidin 6 pin M/F
Mechanical Drive SystemPrecision lead screwPrecision lead screwPrecision lead screw
Limit or Home SensingMagnetic home sensorMagnetic hall sensorMagnetic hall sensor
Manual ControlNoNoNo
Axes of Motion111
LED IndicatorsYesYesYes, Bi-colour
Mounting InterfaceM6 and M3 threaded holesM3 and M6 threaded holes and M4 threaded center hole3/8-32 nut, 3/8" shank, or M3 screws
Vacuum CompatibleHigh vacuum (10-6 Torr)High vacuum (10-6 Torr)High vacuum (10-6 Torr)
Operating Temperature Range0 to 50 degrees C0 to 50 degrees C0 to 50 degrees C
RoHS CompliantYesYesYes
CE CompliantYesYesYes
Tranvel Range75 ~ 600 mm25.4 ~ 203.2 mm25.4 or 50.8 mm
Accuracy15 ~ 150 um8 ~ 61 um15 or 30 um
Maximum Speed35 ~ 205 mm/s24 ~ 100 mm/s8 mm/s
Peak Thrust60 ~100 N15 ~35 N46 N

상세 규격 표

카탈로그넘버ModelDescription
DAU-MMOTIVAD-P013E1X-LRQ075AL-SV1-KX14PLow vacuum, motorized linear stage, 75 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P014E1X-LRQ150AL-SV1-KX14PLow vacuum, motorized linear stage, 150 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P015E1X-LRQ300AL-SV1-KX14PLow vacuum, motorized linear stage, 300 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P016E1X-LRQ450AL-SV1-KX14PLow vacuum, motorized linear stage, 450 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P017E1X-LRQ600AL-SV1-KX14PLow vacuum, motorized linear stage, 600 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P018E1X-LSM025A-SV1-KX14PLow vacuum, motorized Linear Stage, 25 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P019E1X-LSM050A-SV1-KX14PLow vacuum, motorized Linear Stage, 50 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P020E1X-LSM100A-SV1-KX14PLow vacuum, motorized Linear Stage, 100 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P021E1X-LSM150A-SV1-KX14PLow vacuum, motorized Linear Stage, 150 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P022E1X-LSM200A-SV1-KX14PLow vacuum, motorized Linear Stage, 200 mm travel, integrated controller, fine resolution, low speed
DAU-MMOTIVAD-P023E1T-NA08A25-SV1-KT03X06PLow vacuum linear actuator, 25 mm travel, RS-232
DAU-MMOTIVAD-P024E1T-NA08A50-SV1-KT03X06PLow vacuum linear actuator, 50 mm travel, RS-232

상세 규격 표

Specification
ValueValueValue
ModelX-LRQ-SV1 SeriesX-LSM-SV1 SeriesT-NA-SV1 Series
FeatureHigh vacuum motorized linear stages with built-in controllersHigh vacuum miniature motorized linear stages with built-in controllersHigh vacuum micro linear actuators with built-in controllers
Built-in ControllerYesYesYes
Repeatability< 2.5 µm<1 ~4 um< 1 µm
Communication InterfaceRS-232RS-232RS-232
Communication ProtocolZaber ASCII (Default), Zaber BinaryZaber ASCII (Default), Zaber BinaryZaber Binary
Maximum Centered Load1000 N100 N46 N
Maximum Cantilever Load3000 N-cm300 N-cm
Guide TypeRecirculating Ball Linear GuideNeedle roller bearing
Maximum Current Draw1200 mA350 mA350 mA
Power Supply24-48 VDC24-48 VDC12-16 VDC
Power PlugNone, use X-PIBNone, use X-PIBNone, use T-DSUB9-P
Motor Steps Per Rev200200200
Data Cable ConnectionTeflon flying leads with M8 4 pin M/FTeflon flying leads with M8 4 pin M/FTeflon flying leads with Minidin 6 pin M/F
Mechanical Drive SystemPrecision lead screwPrecision lead screwPrecision lead screw
Limit or Home SensingMagnetic home sensorMagnetic hall sensorMagnetic hall sensor
Manual ControlNoNoNo
Axes of Motion111
LED IndicatorsYesYesYes, Bi-colour
Mounting InterfaceM6 and M3 threaded holesM3 and M6 threaded holes and M4 threaded center hole3/8-32 nut, 3/8" shank, or M3 screws
Vacuum CompatibleHigh vacuum (10-3 Torr)High vacuum (10-3 Torr)High vacuum (10-3 Torr)
Operating Temperature Range0 to 50 degrees C0 to 50 degrees C0 to 50 degrees C
RoHS CompliantYesYesYes
CE CompliantYesYesYes
Tranvel Range75 ~ 600 mm25.4 ~ 203.2 mm25.4 or 50.8 mm
Accuracy15 ~ 150 um8 ~ 61 um15 or 30 um
Maximum Speed35 ~ 205 mm/s24 ~ 100 mm/s8 mm/s
Peak Thrust60 ~100 N15 ~35 N46 N

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FAQ

이 제품의 주요 용도는 무엇인가요?

진공 환경에서 정밀한 위치 제어가 필요한 실험 장비용 전동 리니어 스테이지입니다. 고진공 및 저진공 환경 모두에서 사용 가능하며, 반도체, 표면 분석, 재료 과학 등의 분야에 적용됩니다.

어떤 이송 거리 옵션이 있나요?

X-LRQ 시리즈는 75mm, 150mm, 300mm, 450mm, 600mm 이송 거리를 제공하며, X-LSM 시리즈는 25mm, 50mm, 100mm, 150mm, 200mm 옵션을 제공합니다.

컨트롤러가 내장되어 있나요?

네, 모든 모델에 통합 컨트롤러(Integrated controller)가 내장되어 있어 별도의 외부 컨트롤러 없이 즉시 사용 가능합니다.

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