L0408-PPS
4” Wafer / Mask Cleaning Kit 120×55×80mm,total200mm 8Slot
7 Day EA
289,200원
테프론 마스크 & 웨이퍼 클리닝 킷, PTFE
DAU-WWAFEPMA
테프론 마스크 & 웨이퍼 클리닝 킷, PTFE
PTFE Mask and Wafer Cleaning Kit
PTFE Mask and Wafer Cleaning Kit는 반도체 제조 및 연구 실험실에서 웨이퍼와 포토마스크의 에칭 및 세정 공정에 사용됩니다. PTFE 테프론 재질의 내화학성과 내열성(280℃)을 활용하여 강산(HF, HNO₃, H₂SO₄ 등) 및 강알칼리 용액 세정에도 안전합니다. 8개 Slot에 웨이퍼와 마스크를 동시에 장착하여 효율적으로 세정할 수 있으며, Carrier 분해 조립 구조로 세척 후 유지보수가 용이합니다. 반도체 연구소, MEMS 제조, 박막 증착 전처리 등 다양한 공정에서 활용됩니다.
테프론 마스크 & 웨이퍼 클리닝 킷, PTFEPTFE Mask and Wafer Cleaning KitDAU-WWAFEPMAWafer Handling[웨이퍼 취급]
단위
EA
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옵션
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289,200원 ~ 337,400원
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L0608-PPS
6” Wafer / Mask Cleaning Kit w180×d55×h95mm 8Slot
3개 EA
337,400원
견적요청 상품
선택한 옵션 0개
상품 설명
PTFE Mask and Wafer Cleaning Kit는 반도체 웨이퍼와 포토마스크의 에칭 및 세정 작업에 최적화된 전용 클리닝 킷입니다. PTFE 테프론 재질로 제작되어 내열 온도 280℃, 내산성 및 내약품성이 우수하여 강산·강알칼리 환경에서도 안전하게 사용할 수 있습니다. 8개의 Slot을 갖춘 구조로, 시료 두께 1.0mm 이하의 웨이퍼와 마스크를 동시에 세정할 수 있습니다. Slot 간격은 1mm로 설계되어 시료 간 간섭 없이 효율적인 세정이 가능하며, Carrier는 분해 조립이 용이하도록 설계되어 세척 후 관리가 편리합니다. 4인치 웨이퍼용(120×55×80mm)과 6인치 웨이퍼용(180×55×95mm) 두 가지 크기가 제공되어 실험실 및 생산 라인에서 다양한 규격의 웨이퍼 및 마스크 세정 작업에 활용됩니다.
핵심 규격
- 재질
- PTFE 테프론
- Slot 수
- 8
- Slot 간격
- 1 mm
상세 규격표
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상세 규격표 1
| 카탈로그넘버 | Model | Carrier Size | Slot수 |
|---|---|---|---|
| DAU-WWAFEPMA-P001E1 | L0408-PPS | w120×d55×h80mm | 8 |
상세 규격표 2
| 카탈로그넘버 | Model | Carrier Size | Slot수 |
|---|---|---|---|
| DAU-WWAFEPMA-P002E1 | L0608-PPS | w180×d55×h95mm | 8 |
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FAQ
PTFE 웨이퍼 클리닝 킷의 주요 용도는 무엇인가요?
반도체 웨이퍼와 포토마스크의 에칭 및 세정 작업에 사용됩니다. PTFE 테프론 재질로 강산·강알칼리 용액에도 안전하며, 8개 Slot에 시료를 동시에 장착하여 효율적인 세정이 가능합니다.
어떤 크기의 웨이퍼를 사용할 수 있나요?
4인치 웨이퍼용(120×55×80mm, 총 200mm)과 6인치 웨이퍼용(180×55×95mm) 두 가지 크기가 제공됩니다. 시료 두께는 1.0mm 이하이며, Slot 간격은 1mm로 설계되어 있습니다.
PTFE 재질의 특징은 무엇인가요?
PTFE 테프론은 내열 온도 280℃, 내산성 및 내약품성이 우수하여 HF, HNO₃, H₂SO₄ 등 강산 및 강알칼리 용액 세정에 안전하게 사용할 수 있습니다. Carrier는 분해 조립이 용이하여 세척 후 유지보수가 편리합니다.
