L12-FOUP
Process Carrier FOUP (Casette) 12 inch
49 Day EA
3,671,900원
12인치 웨이퍼 프로세스 케리어
E-pak · DAU-WWAFEFIP
12인치 웨이퍼 프로세스 케리어
FOUP, 12inch Process Carrier, 25 slots
반도체 제조 시설(FAB)의 자동화 공정 라인에서 300mm(12인치) 실리콘 웨이퍼를 공정 장비 간에 이송하거나 보관할 때 사용합니다. 웨이퍼가 오염되거나 물리적 충격을 받지 않도록 보호하는 핵심 장비입니다.
12인치 웨이퍼 프로세스 케리어FOUP, 12inch Process Carrier, 25 slotsDAU-WWAFEFIPE-pak
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상품 설명
12인치 FOUP(Front Opening Unified Pod)는 300mm 반도체 웨이퍼를 공정 장비 간에 안전하게 이송하고 보관하기 위한 표준 캐리어입니다. SEMI 및 FIMS 규격을 완벽하게 준수하여 자동화 공정 라인에 원활하게 적용됩니다. 이 캐리어는 25개의 웨이퍼를 10mm 간격으로 수용하며, 강력한 고정 메커니즘으로 이송 중 발생하는 진동과 충격으로부터 웨이퍼를 보호하고 입자 생성을 최소화합니다. 초순수, 저배출가스 및 ESD 처리된 재질을 사용하여 웨이퍼 오염을 방지합니다. 또한 도어를 분해하지 않고도 세척이 가능하여 유지보수가 매우 용이합니다.
핵심 규격
- 브랜드
- EPAK
- 타입
- Front Opening Unified Pod (FOUP)
- 웨이퍼 크기
- 12 inch (300mm)
상세 규격표
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상세 규격 표
| 카탈로그넘버 | Model | Description | Wafer |
|---|---|---|---|
| W01-261-420 | L12-FOUP | Process Carrier (FOUP) | 12 inch |
상세 규격 표
| 카탈로그넘버 | W01-261-420 | |
|---|---|---|
| Model | L12-FOUP | |
| Carrier Type | Front Opening Unified Pod (FOUP) | |
| Wafer Size | 12 inch (300mm) | |
| Wafer Capacity | 25 | |
| Wafer Spacing | 10mm (±0.5mm Positional tolerance wafer to wafer, non-cumulative) | |
| Weight | 4.6 kg (Empty) / about 7.8 kg (Full Loaded) | |
| Size | Included Handler & Robotic Flange | w420×d342×h338 mm |
| Excluded Handler & Robotic Flange | w388×d342×h332 mm | |
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FAQ
이 캐리어는 어떤 크기의 웨이퍼를 수용하나요?
12인치(300mm) 직경의 반도체 웨이퍼 전용으로 설계되었습니다.
웨이퍼는 최대 몇 매까지 보관 가능한가요?
총 25개의 웨이퍼를 10mm 간격으로 안전하게 수용할 수 있습니다.
자동화 공정 장비와 연동이 가능한가요?
네, SEMI 및 FIMS 표준 규격을 준수하여 제작되었으므로 자동화된 공정 라인과 완벽하게 호환됩니다.
