ED-PFPERV3
PFPE Non-Corrosive Vacuum Pump w158×d430×h221 25 kg

Edwards · DAU-PPUMPPNC
PFPE 내부식성 진공 펌프, Edwards
PFPE Non-Corrosive Vacuum Pump
이 펌프는 반도체 공정, 화학 연구 등 부식성 가스를 다루거나 산소가 존재하는 환경에서 안전하고 안정적인 진공을 생성하기 위해 사용됩니다. 반드시 지정된 PFPE 계열 오일과 함께 사용해야 합니다.
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EA
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4,458,300원 ~ 4,919,500원
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ED-PFPERV3
PFPE Non-Corrosive Vacuum Pump w158×d430×h221 25 kg
ED-PFPERV5
PFPE Non-Corrosive Vacuum Pump w158×d430×h221 25 kg
ED-PFPERV8
PFPE Non-Corrosive Vacuum Pump w158×d470×h221 28 kg
ED-PFPERV12
PFPE Non-Corrosive Vacuum Pump w158×d490×h221 29 kg
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Edwards PFPE 시리즈는 부식성이 높거나 산소를 사용하는 특수 공정을 위해 설계된 고성능 내부식성 진공 펌프입니다. 일반 오일 대신 화학적으로 안정된 PFPE 불소계 윤활제(Fomblin® 또는 Krytox®, 별매)와 함께 사용하도록 제작되어, 공격적인 화학 물질이나 산소에 의한 펌프 손상을 방지합니다. 가스 밸러스트(Gas Ballast) 옵션에 따라 1단(GB1) 또는 2단(GB2) 로터리 베인 펌프로 구성되어 다양한 공정 요구 사항에 대응할 수 있습니다. 호스 니플(OD 12mm), 클램프, 파워 케이블이 기본으로 포함되어 있어 설치가 용이하며, 까다로운 실험 및 생산 환경에서 안정적인 성능을 발휘합니다.
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| 카탈로그넘버 | Model | Pumping Speed | Motor Power |
|---|---|---|---|
| DAU-PPUMPPNC-P001E1 | ED-PFPERV3 | 65 L/min | 550W |
| DAU-PPUMPPNC-P002E1 | ED-PFPERV5 | 103 L/min | |
| DAU-PPUMPPNC-P003E1 | ED-PFPERV8 | 167 L/min | |
| DAU-PPUMPPNC-P004E1 | ED-PFPERV12 | 238 L/min |
| 카탈로그넘버 | DAU-PPUMPPNC-P001E1 | DAU-PPUMPPNC-P002E1 | DAU-PPUMPPNC-P003E1 | DAU-PPUMPPNC-P004E1 |
|---|---|---|---|---|
| Model | ED-PFPERRV3 | ED-PFPERV5 | ED-PFPERV8 | ED-PFPERV3 |
| Pumping Speed | 65 L/min | 103 L/min | 167 L/min | 238 L/min |
| Ultimate Pressure Ultimate Pressure GB1 Ultimate Pressure GB2 | 1.5 X 0.001 Torr 2.3 X 0.01 Torr 9.1 X 0.01 Torr | 1.5 X 0.001 Torr 2.3 X 0.01 Torr 7.5 X 0.01 Torr | 1.5 X 0.001 Torr 2.3 X 0.01 Torr 4.6 X 0.01 Torr | 1.5 X 0.001 Torr 2.3 X 0.01 Torr 4.6 X 0.01 Torr |
| Motor Power | 550 W | |||
| Motor Speed | 1800 rpm | |||
| Oil Capacity | 700ml | 750ml | 1 L | |
| Inlet | NW25, Nozzle 12mm(기본포함) | |||
| Outlet | NW25 | |||
| 무게 | 25kg | 28kg | 29kg | |
| Operation Temp. Range | 12 ~ 40℃ | |||
| Size | w158×d430×h221 mm | w158×d470×h221 mm | w158×d490×h221 mm | |
| Voltage | 220V, 60Hz | |||
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부식성 가스를 사용하거나 산소가 존재하는 환경과 같이 일반 진공 펌프를 사용하기 어려운 혹독한 공정(Corrosive or Harsh Process)에 적합합니다.
절대 안 됩니다. 이 펌프는 반드시 PFPE 불소 윤활제인 Fomblin® 이나 Krytox® 같은 전용 오일과 함께 사용해야 합니다 (오일은 별매).
펌핑 속도에 따라 65 L/min, 103 L/min, 167 L/min, 238 L/min 4종의 제품이 준비되어 있습니다.