WCO25
Clamp & Centering o-ring Viton NW25

Ulvac · DAU-PPUMPCHV
내부식성 진공 펌프, Ulvac
Chemical Vacuum Pump
반도체 제조 공정, 의약품 생산 라인, 화학 합성 연구 및 특수 용매 증류 등 부식성 가스나 용매를 취급하는 환경에 적합합니다. 일반 진공펌프로 처리가 어려운 특수 화학물질을 안전하게 배기할 수 있으며, 내부식성 특수 표면 처리를 통해 펌프 수명을 연장하고 유지보수 효율을 높여줍니다.
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WCO25
Clamp & Centering o-ring Viton NW25
WN12
Hose Nipple NW25 OD 12 mm
WN16
Hose Nipple NW25 OD 16 mm
WN26
Hose Nipple NW25 OD 26 mm
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Ulvac 내부식성 진공펌프는 펌프 내부를 특수 표면 처리한 고급형 정밀 진공펌프로, 60L/min, 162L/min, 240L/min 등 다양한 배기 용량으로 구성됩니다. 모든 제품이 6.7×10⁻² Pa(5×10⁻⁴ Torr)의 매우 높은 진공도를 제공하며, 반도체 및 의약품 업계에서 사용되는 특수 용매나 가스 처리에 적합합니다. 강제 급유, 역류 방지, 과전류 보호, Gas Ballast Valve, Thermal Protector 등을 모두 갖추고 있으며, 내부식성 특수 처리가 더해져 부식성 화학물질을 다루는 환경에서도 안정적인 공정 수행이 가능합니다.
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| 카탈로그넘버 | Model | Pumping Speed | Motor Power |
|---|---|---|---|
| DAU-PPUMPCHV-P015E1 | GCD-051X | 60 L/min | 200 W |
| DAU-PPUMPCHV-P016E1 | GCD-136X | 162 L/min | 400 W |
| DAU-PPUMPCHV-P017E1 | GCD-201X | 240 L/min | 750 W |
| 카탈로그넘버 | DAU-PPUMPCHV-P015E1 | DAU-PPUMPCHV-P016E1 | DAU-PPUMPCHV-P017E1 |
|---|---|---|---|
| Model | GCD-051X | GCD-136X | GCD-201X |
| Pumping Speed | 60 L/min | 162 L/min | 240 L/min |
| Ultimate Pressure | 6.7 x 10 -2 Pa (5 x 10 -4 Torr) | ||
| Motor Power | 200 W | 400 W | 750 W |
| Motor Speed | 1730 rpm | 1730 rpm | 1740 rpm |
| Oil Capacity | 500 ~ 800 ml | 1000 ml | 1100 ml |
| Inlet/Nipple | NW 25 / OD 18 mm | ||
| Outlet | NW 25 | ||
| Weight | 14.1 kg | 25.4 kg | 26.6 kg |
| Temp. Range | 7 ~ 40℃ | ||
| Size | w166×d423×h223 mm | w170×d493×h241 mm | w170×d510×h241 mm |
| 카탈로그넘버 | Model | Type | 용량 | 연결 Port |
|---|---|---|---|---|
| DAU-PPUMPVAA-P010E1 | OMT050A | 표준형 (G-, GLD 용) | 60L 이하 | G 3/4" |
| DAU-PPUMPVAA-P011E1 | OMT100A | 120L 이하 | ||
| DAU-PPUMPVAA-P012E1 | OMT200A | 240L 이하 | G 1" | |
| DAU-PPUMPVAA-P013E1 | OMC050 | 내산성 (GCD 용) | 60L 이하 | NW25 x 2개 |
| DAU-PPUMPVAA-P014E1 | OMC200 | 240L 이하 |
| 카탈로그넘버 | Model | 용량 |
|---|---|---|
| DAU-PPUMPVAA-P015E1 | OMI100 | 120L 이하 |
| DAU-PPUMPVAA-P016E1 | OMI200 | 240L 이하 |
| 카탈로그넘버 | Model | Description |
|---|---|---|
| DAU-PPUMPVAA-P007E1 | GCV03 | G-series용 |
| 카탈로그넘버 | Model | Description |
|---|---|---|
| DAU-PPUMPVAA-P008E1 | OAG19 | G3/4" to NW25, 60L용 |
| DAU-PPUMPVAA-P009E1 | OAG24 | G1" to NW25, 100L 이상 |
| 카탈로그넘버 | Model | Type | Description |
|---|---|---|---|
| DAU-PPUMPVAC-P006E1 | WN12 | NW25 | OD12 mm |
| DAU-PPUMPVAC-P007E1 | WN16 | OD16 mm | |
| DAU-PPUMPVAC-P008E1 | WN26 | OD26 mm | |
| DAU-PPUMPVAC-P010E1 | FN30 | Female G1" | |
| DAU-PPUMPVAC-A002E1 | WCO25 | NW25 | Clamp & O-ring |
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내부식성 펌프는 일반 모델이 가진 역류 방지, 과전류 보호 등의 우수한 기능을 공유하면서도, 펌프 내부를 특수 표면 처리하여 부식성 가스나 특수 용매 처리에 특화된 제품입니다. 또한 0.067Pa의 더욱 정밀한 도달 압력을 제공합니다.
일반 펌프 사용 시 부식이 우려되는 반도체 공정, 화학 실험, 의약품 제조 과정에서 부식성 가스나 특수 화학 용매를 배기해야 할 때 가장 권장되는 브랜드 제품입니다.
배기 용량에 따라 60L/min(200W), 162L/min(400W), 240L/min(750W) 세 가지 모델이 준비되어 있습니다. 모든 제품은 NW25 규격의 포트를 지원하여 호환성이 우수합니다.